MEMS壓力傳感器(qì)有(yǒu)哪幾種類型？

發布時(shí)間(jiān)：2022年(₹β☆>nián)03月(yuè)17日(rì) 17時(shí)21分(fē→÷n)12秒(miǎo)

次浏覽

　　MEMS即微(wēi)電(diàn)子(zǐ)機(jī)械系∞δ±統，它所指的(de)是(shì)機(jī)械、電(diàn)氣和(hé)M"∑✘©EMS信号處理(lǐ)系統的(de)集成。而壓β♠∏力傳感器(qì)是(shì)MEMS最早的(de)↕≥✔↕産品之一(yī)。根據工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)可(kě​¶¶&)分(fēn)為(wèi)壓阻式、電(diàn←±¶‍)容式和(hé)壓電(diàn)式。目前MEMS壓力傳感器(qì)的(de)類型主要(yào)有(yǒu)矽壓阻式壓力傳感器(qì)和(hπ> é)矽電(diàn)容式壓力傳感器(qì)兩種 ←，這(zhè)兩種都(dōu)是(shì)用( ®yòng)在矽片上(shàng)産生(shēn↑λ$™g)的(de)微(wēi)型機(jī)械電(diàn)子(zǐ)傳感器(qì←≈​↕)。下(xià)面就(jiù)由偉烽恒小(xiǎo)編來(lái)為(wèi)←‍↓<大(dà)家(jiā)介紹一(yī)下(xià)，希 γ望能(néng)夠幫助到(dào)大(dà)家(jiā)。

　　第一(yī)種類型：矽壓阻式壓力傳感器(qì)‌↕₹

　　矽壓阻式壓力傳感器(qì)采用(yòng)高(gāo)">♣精度半導體(tǐ)電(diàn)阻應變片構成的(de)惠斯通(tōng)電§♥↓Ω(diàn)橋作(zuò)為(wèi)機(jī✔ ')電(diàn)轉換的(de)測量電(diàn)路(lù)。它 €α具有(yǒu)測量精度高(gāo)、功耗低(dī)、成本低(dī)等優點。惠斯•σ♠✘通(tōng)電(diàn)橋的(de)壓阻傳感器(qì)÷§輸出為(wèi)零，如(rú)果沒有(y∞₹‍ǒu)壓力變化(huà)，幾乎就(jiù)沒有(yǒu)γ©功耗不(bù)耗電(diàn)了(le)。

　　MEMS矽壓阻式壓力傳感器(qì)是(shì)采用(y&¶òng)固定在其周圍的(de)圓形應力杯的(¥≈←→de)矽膜內(nèi)壁。利用(yòng)MEMS¥↕技(jì)術(shù)将四塊高(gāo)精度半導體(tǐ)✘ &應變計(jì)直接刻在表面應力最大(dà♦≈≈)的(de)地(dì)方，形成惠斯通(tōng)測量橋。作(zuò)為(w♥≈♣↑èi)機(jī)電(diàn)轉換測量電(diàn)§≠ 路(lù)，它直接将壓力的(de)物(wù)理(lǐ)量轉換為(w&↔ ∞èi)電(diàn)能(néng)，其測量精度能(néng)達0.01-0.0Ω✔♠3%FS。

　　第二種類型：電(diàn)容式壓力傳感器(qì)

　　電(diàn)容式壓力傳感器(qì)使用(yòng)MEMS技(jì)∞&β'術(shù)在矽片上(shàng)制(zhì)作(zπ≈$uò)出橫隔栅狀。上(shàng)下(xià)兩根橫隔栅Ω≥♥‍狀成為(wèi)一(yī)組電(diàn)容式壓力傳感器(qì)，✔×σ÷上(shàng)橫隔栅在受壓力的(de)情況下(xià)從(cóng)而往σ÷∏下(xià)移動來(lái)改變上(shàng)下(xià↑★→)兩根橫隔栅之間(jiān)的(de)間(j©©$iān)距和(hé)闆之間(jiān)的(de)電(diàn)容大(dà)§ε小(xiǎo)，即壓力=電(diàn)容量。

　　MEMS壓力傳感器(qì)可(kě)以采用(yòng ±↕₽)類似于集成電(diàn)路(lù)的(de)設計(jì)技( < jì)術(shù)和(hé)制(zhì)造工(gōng)₽↔藝，從(cóng)而進行(xíng)高(gāo)精度、低(→γ♦§dī)成本的(de)大(dà)批量生(shēng)産，在呼吸機(jī)、汽π↑​車(chē)、耳機(jī)、手機(jī)等領域有(yǒu)♣εΩβ著(zhe)廣泛的(de)應用(yòng)。

　　以上(shàng)就(jiù)是(shì)關于MEMS壓力傳感器(qì)有(yǒu)哪幾種類型的(de)相(xiàng₹ε)關介紹暫時(shí)就(jiù)先介紹到(d'±✔₩ào)這(zhè)裡(lǐ)了(le)，如(rú)果您想要(yào)↔₽Ω了(le)解更多(duō)關于傳感器(qì)、無線射頻(pín)的(de)應用₩λα(yòng)、以及選型知(zhī)識介紹的(de)話(huà)±λ，可(kě)以收藏本站(zhàn)或者點擊在線咨詢進行(↕→±•xíng)詳細了(le)解，另外(wài)偉烽恒小(xiǎo®₹≈•)編将為(wèi)您帶來(lái)更多(duō)關于傳感器(∏©'×qì)及無線射頻(pín)相(xiàng)關行(xíng)業♠γλ(yè)資訊。